1. “封閉框架”和移動工作臺設計，整體結構采用花崗巖—— 整體一致材料具有相同膨脹系數，有助于消除溫度變化而造成精度的不確定性。

2. 采用陶瓷Z 軸、全花崗巖結構——為計量室環境提供穩定高精度。

3. X、Y 軸采用伺服電機、精密滾珠絲杠傳動——確保高加速度時定位精確。

4. 預載荷空氣軸承與中心驅動——保證工作臺無摩擦運動，減少了偏差與扭矩。

5. 燕尾導軌系統——運動無摩擦無磨損，保證運動穩定性

6. 光柵位置靠近導軌——確保了高重復性與復現性，阿貝誤差最小

7. 采用Heidenhain高分辨率光柵系統—— 系統分辨率高達0.005um,且其熱膨脹系數獲得PTB認證，可實現科學補償， 保證了機器精準定位及高重復性

8. 配合智能軟件PC-DMIS、QUINDOS 軟件——實現各種檢測需求

9. 具備自動溫度補償功能。